Uviquity发布229nm芯片级深紫外激光器，深紫外光源走向集成化

深紫外激光器一直有个尴尬：性能虽好，但体积大、价格贵，只能待在实验室里。Uviquity最近发布的一款新产品，试图改变这个局面。

5月26日，这家美国光子技术公司推出了全球首款229nm芯片级深紫外激光器。所谓“芯片级”，是指这个波长的深紫外激光首次由单一半导体芯片直接产生，而不是靠一堆光学元件拼出来。行业里普遍把这看作深紫外光源走向微型化的一步。

一、229nm到底有什么用

229nm属于深紫外波段。这个波段的优势在于光子能量高，能激发很多材料的特殊光学响应，因此在高端检测、分析仪器和精密工业里很受重视。

但问题也很突出。传统深紫外光源设备庞大、功耗高、成本高，光谱纯度还经常不够理想，想塞进便携设备基本不可能。很多高性能深紫外设备至今仍依赖实验室里的大型台式系统。Uviquity这次把229nm激光器做到芯片级，等于给这些设备的小型化、便携化甚至嵌入式应用打开了口子。

二、这颗芯片是怎么做出来的

根据官方介绍，这款激光器基于氮化铝光子集成电路平台，通过二次谐波产生技术实现深紫外输出。简单说，就是用半导体工艺把原本复杂的光学结构集成到一颗芯片里。

具体来看，它有四个比较突出的特点。

第一是集成度高。传统深紫外激光系统需要复杂的光学结构，而这颗芯片把整套东西集成在单一半导体芯片中，设备尺寸大幅缩小。

第二是光谱质量好。官方称其输出具备准直、窄线宽、高光谱纯度等特征，激光更稳定、噪声更低，适合精密检测和分析场景。

第三是驱动条件友好。采用半导体方案，低压供电即可运行，比传统大型紫外系统更节能，也更容易部署到工业现场。

第四是兼容多种光谱技术。229nm波段可以支持拉曼光谱、荧光光谱、光致发光分析和吸收光谱检测。在有机样品检测中，这个波段能有效降低背景荧光干扰，提高检测灵敏度。

三、能用在哪些地方

半导体检测。 深紫外光波长短，检测精度更高，在晶圆缺陷检测、半导体计量和先进制造领域有明确需求。芯片制造设备对高性能深紫外光源的需求还会持续增长。

环境与工业监测。 可用于连续气体分析、水质检测和工业过程实时监测。化工、石油等行业可以用它实时识别微量化学成分变化。

生物医药分析。 229nm波段能增强对生物与化学特征的识别能力，在药物生产、生物检测和实验分析领域有潜力。

国防与高灵敏传感。 官方还提到，该技术可用于痕量级危险物质探测和高精度传感系统。

四、不止是一颗激光器

Uviquity的布局不止于深紫外检测。其核心平台同时支持222nm远紫外人类安全消杀技术，可用于空气、食品和水体消毒。

也就是说，这家公司在尝试搭一个统一的紫外光子平台：一边做高端分析检测，一边做公共卫生与消毒。这种光子芯片化的思路，被不少人看作紫外技术领域的“集成电路革命”开端。

结语

从实验室里的大型设备，到一颗芯片就能搞定，229nm深紫外激光器的问世，可能标志着深紫外技术开始进入小型化、低成本、规模化的阶段。如果光子芯片技术继续成熟，深紫外激光未来或许会像CMOS传感器一样，被广泛嵌入医疗、工业、环保乃至消费电子设备。Uviquity这次发布的产品，很可能是这个趋势的起点。

来源：Uviquity官方